FLAME EMISSION ANALYSIS FOR SODIUM IN SILICON OXIDE FILMS AND ON SILICON SURFACES

被引:11
作者
BARRY, JE
DONEGA, HM
BURGESS, TE
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2411809
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:257 / &
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