STUDY OF FAILURE MECHANISMS IN AL-CU THIN FILMS BY HIGH-VOLTAGE ELECTRON MICROSCOPY

被引：17

作者：

BERENBAUM, L

PATNAIK, B

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1971年 / 18卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1653665

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

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