DESIGN LIMITATIONS DUE TO SUBSTRATE CURRENTS AND SECONDARY IMPACT IONIZATION ELECTRONS IN NMOS LSIS

被引:11
作者
MATSUNAGA, J
KOHYAMA, S
KONAKA, M
IIZUKA, H
机构
关键词
D O I
10.7567/JJAPS.19S1.93
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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