ELECTRON KINETICS OF COLLISION DOMINATED RF BULK PLASMA IN CO - THE ROLE OF 2ND-KIND COLLISIONS

被引：5

作者：

CAPITELLI, M ^{[1
]}

CELIBERTO, R ^{[1
]}

GORSE, C ^{[1
]}

WINKLER, R ^{[1
]}

WILHELM, J ^{[1
]}

机构：

[1] AKAD WISSENSCH DDR,ZENT INST ELEKTRONENPHYS,BEREICH GASENTLADUNGSPHYS,GREIFSWALD,GER DEM REP

来源：

关键词：

D O I：

10.1007/BF01016156

中图分类号：

TQ [化学工业];

学科分类号：

0817 ;

摘要：

引用

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页数：14