ELECTRONIC AND STRUCTURAL-PROPERTIES OF PLASMA-DEPOSITED A-SI-O-H - STORY OF O2

被引:132
作者
KNIGHTS, JC
STREET, RA
LUCOVSKY, G
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(80)90607-9
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:279 / 284
页数:6
相关论文
共 11 条