UNIFORM RESISTIVITY P-TYPE SILICON BY ZONE LEVELING

被引:3
作者
KOLB, ED
TANENBAUM, M
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2427444
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:597 / 599
页数:3
相关论文
共 10 条