HIGH-PERFORMANCE SALICIDE SHALLOW-JUNCTION CMOS DEVICES FOR SUBMICROMETER VLSI APPLICATION IN TWIN-TUB-VI

被引：15

作者：

LU, CY ^{[1
]}

SUNG, JJ ^{[1
]}

KIRSCH, HC ^{[1
]}

TSAI, NS ^{[1
]}

LIU, RC ^{[1
]}

MANOCHA, AS ^{[1
]}

HILLENIUS, SJ ^{[1
]}

机构：

[1] AT&T BELL LABS,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/16.43677

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：2530 / 2536

页数：7