SURFACE IMPURITY GRADIENTS IN EPITAXIAL GAAS

被引:15
作者
NICHOLS, KH
GOLDWASSER, RE
WOLFE, CM
机构
[1] WASHINGTON UNIV,DEPT ELECT ENGN,ST LOUIS,MO 63130
[2] WASHINGTON UNIV,SEMICOND RES LAB,ST LOUIS,MO 63130
关键词
D O I
10.1063/1.91562
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:601 / 603
页数:3
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