ISOTHERMAL CAPACITANCE TRANSIENT SPECTROSCOPY FOR DETERMINATION OF DEEP LEVEL PARAMETERS

被引:139
作者
OKUSHI, H
TOKUMARU, Y
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.19.L335
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:L335 / L338
页数:4
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