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MOS COMPATIBILITY OF HIGH-CONDUCTIVITY TASI2-N+ POLY-SI GATES
被引:57
作者
:
SINHA, AK
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SINHA, AK
LINDENBERGER, WS
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LINDENBERGER, WS
FRASER, DB
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FRASER, DB
MURARKA, SP
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MURARKA, SP
FULS, EN
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FULS, EN
机构
:
来源
:
IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES
|
1980年
/ 27卷
/ 08期
关键词
:
D O I
:
10.1109/T-ED.1980.20051
中图分类号
:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
:
0808 ;
0809 ;
摘要
:
引用
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页码:1425 / 1430
页数:6
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