SAMPLE GEOMETRY-EFFECTS IN RAPID THERMAL ANNEALING

被引:4
作者
RUGGLES, GA [1 ]
HONG, SN [1 ]
WORTMAN, JJ [1 ]
SORRELL, FY [1 ]
OZTURK, MC [1 ]
机构
[1] N CAROLINA STATE UNIV,DEPT MECH & AEROSP ENGN,RALEIGH,NC 27695
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1990年 / 8卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.584837
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:122 / 127
页数:6
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