PREFERENTIAL SPUTTERING OF OXIDES - A COMPARISON OF MODEL PREDICTIONS WITH EXPERIMENTAL-DATA

被引:229
作者
MALHERBE, JB [1 ]
HOFMANN, S [1 ]
SANZ, JM [1 ]
机构
[1] MAX PLANCK INST MET RES,INST WERKSTOFFWISSENSCH,D-7000 STUTTGART 80,FED REP GER
关键词
D O I
10.1016/0169-4332(86)90139-X
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
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页码:355 / 365
页数:11
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