CHEMICAL ETCHING OF [111] AND [100] SURFACES OF INP

被引:63
作者
TUCK, B [1 ]
BAKER, AJ [1 ]
机构
[1] UNIV NOTTINGHAM,DEPT ELECT & ELECT ENGN,NOTTINGHAM,ENGLAND
关键词
D O I
10.1007/BF00754890
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:1559 / 1566
页数:8
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