NATURE OF TRANSITION REGION FORMED BETWEEN DC-BASES RF SPUTTERED TIC FILMS AND STEEL SUBSTRATES

被引:28
作者
GREENE, JE
ZILKO, JL
机构
[1] UNIV ILLINOIS,DEPT MECH ENGN,URBANA,IL 61801
[2] UNIV ILLINOIS,COORDINATED SCI LAB,URBANA,IL 61801
关键词
D O I
10.1016/0039-6028(78)90382-5
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
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页码:109 / 124
页数:16
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