DYNAMICS OF LASER-INDUCED VAPORIZATION FOR ULTRAFAST DEPOSITION OF AMORPHOUS-SILICON FILMS

被引:45
作者
HANABUSA, M
SUZUKI, M
NISHIGAKI, S
机构
关键词
D O I
10.1063/1.92347
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:385 / 387
页数:3
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