DETECTION SENSITIVITY OF HEAVY IMPURITIES IN SI USING 280 KEV HE2+ AND C2+ BACKSCATTERING

被引：14

作者：

HART, RR ^{[1
]}

DUNLAP, HL ^{[1
]}

MOHR, AJ ^{[1
]}

MARSH, OJ ^{[1
]}

机构：

[1] HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(73)90030-8

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：137 / 144

页数：8

共 6 条

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