THE DYNAMICS OF REACTIVE ION SPUTTERING OF SN-SB AND IN-SN ALLOYS IN AN AR-O2 ATMOSPHERE

被引：20

作者：

LEJA, E

KOLODZIEJ, A

PISARKIEWICZ, T

STAPINSKI, T

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(81)90699-4

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：283 / 287

页数：5

共 5 条

[1]

Abe T., 1975, Journal of the Vacuum Society of Japan, V18, P375, DOI 10.3131/jvsj.18.375

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YAMASHINA, T .

[3]

HIROHATA V, 1976, OYO BUTSURI, V45, P402

LEJA, E ;

PISARKIEWICZ, T ;

KOLODZIEJ, A .

LEJA, E ;

KORECKI, J ;

KROP, K ;

TOLL, K .