RECRYSTALLIZATION OF POLYCRYSTALLINE CVD GROWN SILICON

被引:22
作者
SCHINS, WJH
BEZEMER, J
HOLTROP, H
RADELAAR, S
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2129846
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:1193 / 1199
页数:7
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