SOME FACTORS CONTROLLING GROSS LEAKAGE CURRENTS IN SPUTTERED TANTALUM-FILM CAPACITORS

被引:13
作者
SILCOX, NW
MAISSEL, LI
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2425262
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
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