EFFECT OF ULTRASONIC VIBRATIONS OF SUBSTRATE ON GROWTH OF THIN METAL FILMS

被引:12
作者
CHOPRA, KL
RANDLETT, MR
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1755097
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:202 / &
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