STRESS IN VACUUM DEPOSITED FILMS OF SILVER

被引:52
作者
KINOSITA, K
MAKI, K
NAKAMIZO, K
TAKEUCHI, K
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.6.42
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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