CAPACITANCE ENERGY LEVEL SPECTROSCOPY OF DEEP-LYING SEMICONDUCTOR IMPURITIES USING SCHOTTKY BARRIERS

被引:147
作者
ROBERTS, GI
CROWELL, CR
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1659102
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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