ION SCATTERING ANALYSIS OF COPPER-FILMS OXIDIZED IN O-18

被引:18
作者
CZANDERNA, AW
MILLER, AC
JELLINEK, HHG
KACHI, H
机构
[1] CLARKSON COLL TECHNOL, INST COLLOID & SURFACE SCI, DEPT PHYS, POTSDAM, NY 13676 USA
[2] CLARKSON COLL TECHNOL, INST COLLOID & SURFACE SCI, DEPT CHEM, POTSDAM, NY 13676 USA
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1977年 / 14卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.569127
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:227 / 230
页数:4
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