MERCURY ION BEAM SPUTTERING OF METALS AT ENERGIES 4-15 KEV

被引:33
作者
WEHNER, GK
ROSENBERG, D
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1736125
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:887 / &
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