MACROSCOPIC THEORY OF PULSED-LASER ANNEALING .2. DOPANT DIFFUSION AND SEGREGATION

被引:112
作者
WOOD, RF
KIRKPATRICK, JR
GILES, GE
机构
来源
PHYSICAL REVIEW B | 1981年 / 23卷 / 10期
关键词
D O I
10.1103/PhysRevB.23.5555
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:5555 / 5569
页数:15
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