THE ANGULAR-DISTRIBUTION OF MATERIAL SPUTTERED FROM AGAU AND CUPT BY20-80KEV ARGON

被引:23
作者
ANDERSEN, HH
CHEVALLIER, J
CHERNYSH, V
机构
来源
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1981年 / 191卷 / 1-3期
关键词
D O I
10.1016/0029-554X(81)91010-7
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
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页数:4
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