EXPERIMENTAL-STUDY OF VARIOUS CROSS SHEET RESISTOR TEST STRUCTURES

被引：71

作者：

BUEHLER, MG

THURBER, WR

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2131516

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：645 / 650

页数：6

共 6 条

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