TITANIUM NITRIDE FOR ANTIREFLECTION CONTROL AND HILLOCK SUPPRESSION ON ALUMINUM SILICON METALLIZATION

被引：13

作者：

ROCKE, M

SCHNEEGANS, M

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1988年 / 6卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.584306

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1113 / 1115

页数：3

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共 4 条

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