PROXIMITY CORRECTIONS IN A RASTER SCAN ELECTRON LITHOGRAPHY MACHINE

被引：1

作者：

MA, SKS

PARIKH, M

WARD, W

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 19卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571259

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1275 / 1278

页数：4

共 10 条

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