CONTAMINATION EFFECTS IN GLOW-DISCHARGE DEPOSITION SYSTEMS

被引：8

作者：

JANSEN, F

KUHMAN, D

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | 1988年 / 6卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574997

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页数：6

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共 13 条

[11]

STEEMERS HL, 1986, MATER RES SOC C P, V70, P727

[12]

TSAI CC, 1984, MATER RES SOC S P, V33, P297

[13] DUAL-GATE A-SI-H THIN-FILM TRANSISTORS [J].

TUAN, HC ;

THOMPSON, MJ ;

JOHNSON, NM ;

LUJAN, RA .

ELECTRON DEVICE LETTERS, 1982, 3 (12) :357-359