RADIATION-ENHANCED DIFFUSION OF BORON IN GERMANIUM DURING ION-IMPLANTATION

被引：12

作者：

GUSEVA, MI ^{[1
]}

MANSUROVA, AN ^{[1
]}

机构：

[1] KURCHATOV ATOM ENERGY INST, KURCHATOV SQ, MOSCOW, USSR

来源：

RADIATION EFFECTS AND DEFECTS IN SOLIDS | 1973年 / 20卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1080/00337577308232285

中图分类号：

TL [原子能技术]; O571 [原子核物理学];

学科分类号：

0827 ; 082701 ;

摘要：

引用

页码：207 / 210

页数：4

共 16 条

[1]

BOLTAKS BJ, DIFFUSIJA POLUPROVOD

[2]

Brelot A., 1968, Proceedings of the Santa Fe conference on radiation effects in semiconductors, P460

[3]

BUSHAROV NP, 1972, VZAIMODEISTVIE IONOV

GAMO, K ;

MASUDA, K ;

NAMBA, S .

GLOTIN, PM .

[6]

GUSEV VM, 1967, PRIB TEKH EKSP, V4, P19

[7]

Lindhard J., 1963, VIDENSK SELSK MAT FY, V33, P1, DOI DOI 10.1002/ADMA.200904153

[8]

MASUDA K, P JAPAN SEMINAR ION, P145

[9]

MAYHIRG S, 1953, PHYS REV, V91, P1015

[10]

Namba S., 1970, Radiation Effects, V6, P115, DOI 10.1080/00337577008235053