CHEMICAL ETCHING OF STRUCTURAL DEFECTS IN EPITAXIAL GAAS1-XPX AND BULK GAAS

被引:6
作者
ROSIN, H [1 ]
机构
[1] KOMBINAT VEB HALBLEITERWERK,FRANKFURT,EAST GERMANY
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1974年 / 25卷 / 01期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210250137
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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