CHARGE TRAPPING STUDIES IN SIO2 USING HIGH-CURRENT INJECTION FROM SI-RICH SIO2-FILMS

被引:100
作者
DIMARIA, DJ
GHEZ, R
DONG, DW
机构
关键词
D O I
10.1063/1.328317
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:4830 / 4841
页数:12
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