GAS AND SURFACE PROCESSES LEADING TO HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON FILMS

被引：26

作者：

GALLACHER, A

SCOTT, J

机构：

[1] Univ of Colorado, Boulder, CO, USA, Univ of Colorado, Boulder, CO, USA

来源：

SOLAR CELLS | 1987年 / 21卷

关键词：

D O I：

10.1016/0379-6787(87)90114-1

中图分类号：

TE [石油、天然气工业]; TK [能源与动力工程];

学科分类号：

0807 ; 0820 ;

摘要：

引用

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页数：6