共 21 条
INTERFACIAL CHEMICAL-REACTIVITY OF METAL CONTACTS WITH THIN NATIVE OXIDES OF GAAS
被引:55
作者:
KOWALCZYK, SP
WALDROP, JR
GRANT, RW
机构:
来源:
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY
|
1981年
/
19卷
/
03期
关键词:
D O I:
10.1116/1.571140
中图分类号:
O59 [应用物理学];
学科分类号:
摘要:
引用
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页码:611 / 616
页数:6
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