INTERFACIAL CHEMICAL-REACTIVITY OF METAL CONTACTS WITH THIN NATIVE OXIDES OF GAAS

被引:55
作者
KOWALCZYK, SP
WALDROP, JR
GRANT, RW
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 19卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.571140
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页码:611 / 616
页数:6
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