DIFFUSION OF NITROGEN IMPLANTED IN TITANIUM NITRIDE (TIN1-X)

被引：12

作者：

ABAUTRET, F

EVENO, P

机构：

来源：

REVUE DE PHYSIQUE APPLIQUEE | 1990年 / 25卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1051/rphysap:0199000250110111300

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1113 / 1119

页数：7

共 22 条

[1]

Adda Y., 1966, DIFFUSION SOLIDS

[2]

Dearnaley G., 1973, SERIES DEFECTS CRYST, V8

[3]

EREMEEV VS, 1969, IZV AKAD NAUK SSSR M, V4, P262

[4] THE ANALYSIS OF DIFFUSION DATA BY A METHOD OF MOMENTS [J].

GHEZ, R ;

FEHRIBACH, JD ;

OEHRLEIN, GS .

[5]

GHEZ R, 1984, APPL PHYS LETT, V45

[6]

KUZENKOVA MA, 1971, POROSHKOVAYA METALLU, V98, P52

[7]

LI J, 1990, THESIS ORSAY

[8]

MEYER M, 1980, J PHYS, V41, P327

[9] ENHANCED DIFFUSION AND OUT-DIFFUSION IN ION-IMPLANTED SILICON [J].

MEYER, O ;

MAYER, JW .

[10]

Philibert J, 1985, DIFFUSION TRANSPORT