EFFECTS OF RAPID THERMAL-PROCESSING ON THERMAL OXIDES OF SILICON

被引：7

作者：

LEE, SK ^{[1
]}

KWONG, DL ^{[1
]}

ALVI, NS ^{[1
]}

机构：

[1] GM CORP,DELCO ELECTR,KOKOMO,IN 46902

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.337704

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：3360 / 3363

页数：4

共 8 条

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