MEASUREMENT OF THIN-FILM MECHANICAL-PROPERTIES USING NANOINDENTATION

被引:812
作者
PHARR, GM [1 ]
OLIVER, WC [1 ]
机构
[1] OAK RIDGE NATL LAB,DIV MET & CERAM,MICROSCOPY & MICROANALY SCI GRP,OAK RIDGE,TN 37830
关键词
D O I
10.1557/S0883769400041634
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
[No abstract available]
引用
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页数:6
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