REGULARIZATION - A STABLE AND ACCURATE METHOD FOR GENERATING DEPTH PROFILES FROM ANGLE-DEPENDENT XPS DATA

被引：145

作者：

TYLER, BJ ^{[1
]}

CASTNER, DG ^{[1
]}

RATNER, BD ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV WASHINGTON,DEPT CHEM ENGN,NATL ESCA & SURFACE ANAL CTR BIOMED PROBLEMS,SEATTLE,WA 98195

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/sia.740140804

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：443 / 450

页数：8

共 26 条

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