MECHANICAL STRESSES IN DC REACTIVELY SPUTTERED FE2O3 THIN-FILMS

被引:9
作者
ORLINOV, V [1 ]
SAROV, G [1 ]
机构
[1] INST SEMICOND TECHNOL, BOTEVGRAD, BULGARIA
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(80)90266-7
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:333 / 343
页数:11
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