RAPID ANNEALING IN SILICON TRANSISTORS

被引：8

作者：

BINDER, D

BUTCHER, DT

CREPPS, JR

HAMMER, EL

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/TNS.1968.4325035

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：84 / +

页数：1

共 7 条

[1]

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[7]

[No title captured]