ANALYSIS OF SURFACES UTILIZING SPUTTER ION SOURCE INSTRUMENTS

被引:55
作者
SOCHA, AJ
机构
关键词
D O I
10.1016/0039-6028(71)90213-5
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
引用
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页码:147 / &
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