PERFECT CRYSTAL-GROWTH OF SILICON BY VAPOR-DEPOSITION

被引:20
作者
NISHIZAWA, JI
TERASAKI, T
YAGI, K
MIYAMOTO, N
机构
[1] TOHOKU UNIV,RES INST ELECT COMMUN,SENDAI,JAPAN
[2] SEMICONDUCTOR RES INST,SENDAI,JAPAN
关键词
D O I
10.1149/1.2134288
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
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页码:664 / 669
页数:6
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