A REVIEW OF THE PRESENT STATE OF ART IN HARD COATINGS GROWN FROM THE VAPOR-PHASE

被引:429
作者
SUNDGREN, JE
HENTZELL, HTG
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1986年 / 4卷 / 05期
关键词
D O I
10.1116/1.574062
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:2259 / 2279
页数:21
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