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- [11] ROLE OF HYDROGEN IN SPUTTERING OF NICKEL-CHROMIUM FILMS[J]. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1967, 4 (03): : 128 - &STERN, ECASWELL, HL
RE-EMISSION OF SPUTTERED SIO2 DURING GROWTH AND ITS RELATION TO FILM QUALITY
被引：52
作者：
MAISSEL, LI
JONES, RE
STANDLEY, CL
机构：
关键词：
D O I：
10.1147/rd.142.0176
中图分类号：
TP3 [计算技术、计算机技术];
学科分类号：
0812 ;
摘要：
引用
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页码：176 / &
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