ZN AND TE IMPLANTATIONS INTO GAAS

被引:25
作者
MAYER, JW
MARSH, OJ
MANKARIOUS, R
BOWER, R
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1709794
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:1975 / +
页数:1
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