DETECTION OF FAST DIFFUSING METAL IMPURITIES IN SILICON BY HAZE TEST AND BY MODULATED OPTICAL REFLECTANCE - A COMPARISON

被引:8
作者
ALPERN, P
BERGHOLZ, W
KAKOSCHKE, R
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2096559
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页数:8
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