REFRACTIVE-INDEX DISPERSION OF DIELECTRIC FILMS USED IN THE SEMICONDUCTOR INDUSTRY

被引:18
作者
PLISKIN, WA
机构
[1] IBM, Hopewell Junction, NY, USA, IBM, Hopewell Junction, NY, USA
关键词
D O I
10.1149/1.2100295
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:2819 / 2826
页数:8
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