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VARIABLE SPOT SHAPE CONTROL ELECTRONICS

被引：4
作者：
WOODARD, OC
HO, CT
MICHAIL, MS
MUIR, AW
WILLIAMS, MC
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1979年 / 16卷 / 06期
关键词：
D O I：
10.1116/1.570294
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：1783 / 1786
页数：4
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