VAPOR GROWTH OF GAAS1-XPX BY PYROLYSIS OF GA(CH3)3, ASH3 AND PH3

被引：20

作者：

INOUE, M

ASAHI, K

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1972年 / 11卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.11.919

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：919 / &

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